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ボロンドープダイヤモンド温度計を統合したダイヤモンド量子センシングプラットフォームの開発

大隈理央, 良松本, 足立伸太郎, 小野田　忍, 健成寺嶋, 太田健二, 渡辺孝夫, 高野義彦, Keigo Arai

Published Sep 9, 2026• 0 citations

Abstract

本研究では、NVセンターとホウ素ドープダイヤモンド（BDD）を用いた温度測定を組み合わせた、統合型ダイヤモンド量子センシングプラットフォームを開発した。1bダイヤモンド基板上へ、炭素イオン注入と真空アニーリングによりNVセンターを形成した後に、マイクロ波プラズマ化学気相堆積法によりBDDを製膜した。BDD温度計はダイヤモンド基板上にエピタキシャル成長されているため、ダイヤモンド基板の局所的な温度測定が可能となる。この統合型NV–BDDプラットフォームを用いて、複数の超伝導試料のマイスナー応答を観測すると同時に、局所温度を測定した。

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