Laser & Optoelectronics Progress
面向微波测量的MEMS原子气室制备与研究
冯萌阳 Feng Mengyang, 赵锐 Zhao Rui, 石云波 Shi Yunbo, 郑健 Zheng Jian
Abstract
为了满足基于原子气室的微波探测微型化需求,提出一种具有蓝宝石-硅-玻璃三层结构的双腔MEMS原子气室。采用深硅刻蚀技术制备硅基底,通过阳极键合实现硅与BF33玻璃的密封连接,随后利用Au-Sn共晶键合技术完成蓝宝石与硅片的封装,并借助激光加热铯释放剂以实现碱金属的释放。在此基础上,搭建了双光束光路系统,对室温下铯原子的吸收光谱与电磁诱导透明(EIT)效应进行了表征。研究结果表明:铯原子的吸收光谱特征峰清晰且稳定,吸收强度随着探测光功率的增加呈现出先上升后趋于饱和的趋势;而EIT信号的透射峰幅度则随着探测光功率的增大,呈现出先增强后受到抑制的变化趋势。这些发现充分展现了该双腔MEMS原子气室在微波测量领域的重要应用潜力。