Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики
Vliyanie metodov travleniya na dielektricheskie poteri kubitov-transmonov
T. A. Chudakova, Grigoriy S. Mazhorin, I. V. Trofimov, N. Yu. Rudenko, Alexander M. Mumlyakov, Alena S. Kazmina, Elena Yu. Egorova, P. A. Gladilovich, Maxim Vladimirovich Chichkov, Nataliya Maleeva, Michael A. Tarkhov, V. I. Chichkov
Abstract
Сверхпроводниковые кубиты – одна из наиболее перспективных платформ для реализации отказоустойчивого квантового процессора. Существенной проблемой этих кубитов являются дефекты на поверхностях сверхпроводников и на подложке, приводящие к декогеренции и временным флуктуациям характеристик кубита. Количество и характер дефектов зависят от материала подложки и кубитов и качества их обработки. В данной работе были экспериментально исследованы трансмоны, изготовленные по одному технологическому чертежу с использованием двух методик травления алюминия: жидкостного в растворе слабых кислот и сухого плазмохимического в хлорсодержащей смеси. Времена релаксации и когерентности кубитов, изготовленных методом сухого травления, более чем в 2 раза превосходят аналогичные характеристики кубитов, изготовленных с использованием жидкостного травления. Исследование временных флуктуаций времен релаксации и частот кубитов показал значительно меньшее влияние двухуровневых дефектов на кубиты сухого травления, чем на кубиты жидкостного травления. Анализ временных изменений характеристик кубитов позволяет определить доминирующие механизмы их диэлектрических потерь.